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| 特徴： |
床面が厚さ３ｍｍのステンレス鋼版で構成さ
れ、エージングやスクリーニング工程におけ
る試料を台車に載せたままの出し入れ作業が
容易に行えます。
送風機には専用のシロッコファンを採用し、
短時間での昇温特性と高精度の温度分布を実
現しています。
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| 仕様： |
（外囲温度＋20℃）～ 80℃
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| 特徴： |
空調発生制御ユニットと断熱カバー扉で構成
されているので、処理エリアが分離でき、長
尺や重量物の部分熱処理が容易に行えます。
また、移動に便利なキャスター付で、簡単に
移動して部分熱処理が実施できます。
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| 仕様： |
（外囲温度＋15℃）～ 200℃
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| 特徴： |
ドラム型の回転機構部と熱風発生部から構成
されています。試料に対してスポット熱風を
放射状に当てることができるノズルがあり、
急速部分加熱が行えます。
また、試料の非耐熱部分には熱ストレスを与
えることなく処理できる工夫をしています。
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| 仕様： |
（外囲温度＋70℃）～ 140℃
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| 特徴： |
接着樹脂などの熱硬化を必要とする工程に
最適で、ワークの入ったパレットが供給さ
れると、1パレットずつ自動で高温槽内に
送られ、最大４パレット収納されます。
槽内送風はパレットに対し水平層流構造で、
高精度な温度で熱硬化処理が行えます。
高温熱処理後、冷却搬出ステーションで強
制冷却され、ワークのみが取り出されてパ
レットはリターンコンベアで回流されます。
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| 仕様： |
＋50℃ ～ 120℃
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| 特徴： |
上流側装置から試料が入った治具を受け取る
と、リフト&キャリーによる搬送で槽内に送
られ、熱風循環および定量換気による平衡調
温された熱風で、指定された時間熱処理を行
います。
下流側装置で試料が取り出されると、治具は
降下リフタによりリターンコンベア上に置か
れて、上昇リフタにより上流に戻る回流式で
す。
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| 仕様： |
（外囲温度＋20℃）～ 120℃
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| 特徴： |
小型基板や薄型試料に合わせた試料ホルダー
を採用することにより、多段収納と高風量設
計で、均一した温度維持特性が得られます。
また、縦型省スペースを実現しているので、
前後装置との組合わせにより様々な熱処理工
程にも使用できます。
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| 仕様： |
＋70℃ ～ 200℃
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| 特徴： |
ＥＣＯ＆クリーン設計。
炉内からの熱損失を抑えたサイドフローの
クリーン熱風が、入口から出口まで安定し
た水平層流を送り込み、炉内の均一な温度
維持を実現しています。
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| 仕様： |
（外囲温度＋50℃）～ 150℃
清浄度 クラス１,０００
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| 特徴： |
ＥＣＯ＆クリーンコンパクト設計でクリーン
ルーム内の高価なフットスペースを有効に活
用できます。
上下駆動するワーク炉内に対して、水平層流
による均一の熱風で、安定した温度維持が可
能です。
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| 仕様： |
（外囲温度＋５0℃）～ １５0℃
清浄度 クラス１,０００
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